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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ロータリーポンプ(油回転ポンプ)

DSシリーズ / HSシリーズ / MS40+

ロータリーポンプ(油回転ポンプ)

多様な産業的および科学的アプリケーションにおける過酷な必要条件を満足するために設計・製造されたアジレント(バリアン)のロータリーポンプ(油回転ポンプ)です。

低騒音、最小オイル逆流量、長いオペレーション寿命といった高い安定性を保証します。

また、Websiteに掲載しているアジレントのロータリーポンプ以外に各社のロータリーポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成/アクセサリー

DS 40M 品 番
DS 40Mロータリーポンプ X3703-64000(1φ100-110V)
X3703-64001(1φ200-240V)
オイルミストトラップ X3703-64003 (3/4 G)
フォアライントラップ RT0075NW16(NW16)
DS 102 品 番
DS 102ロータリーポンプ 9499315(1φ100-120V / 200-240V)
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルミストエリミネータ 9499395(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
DS 202 品 番
DS 202ロータリーポンプ 9499320(1φ100-120V / 200-240V)
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルミストエリミネータ 9499395(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
DS 302 品 番
DS 302ロータリーポンプ 9499325(1φ100-120V / 200-240V)
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルミストエリミネータ 9499395(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
DS 402 品 番
DS 402ロータリーポンプ 9499330(1φ100-120V / 200-240V)
9499331(3φ200-220V / 380-415V)
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルミストエリミネータ 9499395(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
DS 602 品 番
DS 602ロータリーポンプ 9499335(1φ100-120V / 200-240V)
9499336(3φ200-220V / 380-415V)
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルミストエリミネータ 9499395(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
HS 452 品 番
HS 452スマートポンプ 9499360(1φ100-120V / 200-240V)
IP44 accessory connector Kit 9499367
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルエグゾーストフィルター 9499392(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
HS 652 品 番
HS 652スマートポンプ 9499365(1φ100-120V / 200-240V)
IP44 accessory connector Kit 9499367
電源ケーブル 9499397(1φ)
オイルエグゾーストフィルター 9499392(NW25)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
MS40+ 品 番
MS 40+ シングルステージポンプ 9499225(NW25標準構成)
9499240(NW40フルオプション)
9499241(NW40ベースバージョン)
電源ケーブル 9499400(1φ)
オイルエグゾーストフィルター 9499201(MS 40+)
フォアライントラップ RT0100NW25(NW25)
RT0150NW40(NW40)
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にないロータリーポンプおよびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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