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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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関連技術情報

ターボ分子ポンプ

Turbo-Vシリーズ / Turbo-V Navigatorシリーズ / TwisTorrシリーズ

ターボ分子ポンプ

「最小のコストサイズで最高の性能を！」の設計コンセプトで作られたアジレント（バリアン）のターボ分子ポンプです。

長年培ってきた真空技術により、あらゆる点で最高性能を実現しています。

また、Websiteに掲載しているアジレントのターボ分子ポンプ以外に各社のターボ分子ポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ・パンフレット

アジレント真空コンポーネント製品カタログ2011

アジレント社 真空コンポーネント

製品カタログ

上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料

上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料に関するお問い合わせは『カタログ等資料請求フォーム』およびお電話 にて受け付けております。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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