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真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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関連技術情報

ゲージコントローラ

XGS-600，AGC-100，AGD-100，RGCシリーズ

ゲージコントローラ

アジレント（バリアン）のゲージコントローラは、低価格な「ラフゲージコントローラ」から1台で複数のゲージを簡単に操作できる「マルチゲージコントローラ」まで、さまざまなニーズに対応することができます。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成／アクセサリー

XGS-600 品　番
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
コントロールボード
ホットフィラメントイオンゲージカード R3075301
インバーテッドマグネトロンイオンゲージカード R3080301
デュアルコンベクションゲージカード R3084301
デュアルアナログインプットカード R3487301
ゲージケーブル
ConvecTorrゲージケーブル L91223010（10ft：約3m）
L91223025（25ft：約7.5m）
L91223050（50ft：約15m）
L91223100（100ft：約30m）
T/Cゲージケーブル L91313010（10ft：約3m）
L91313025（25ft：約7.5m）
L91313050（50ft：約15m）
L91313100（100ft：約30m）
グラスB-Aゲージケーブル R32443010（10ft：約3m）
R32443025（25ft：約7.5m）
R32443050（50ft：約15m）
IMG-300ゲージケーブル（bakeable 250℃） R03413010（10ft：約3m）
R03413025（25ft：約7.5m）
R03413065（65ft：約15m）
R03413100（100ft：約30m）
UHV24/UHV24pゲージケーブル（non-bakeable） R32453010（10ft：約3m）
R32453025（25ft：約7.5m）
R32453050（50ft：約15m）
UHV24/UHV24pゲージケーブル（bakeable 250℃） R32463010（10ft：約3m）
R32463025（25ft：約7.5m）
R32463050（50ft：約15m）
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003（3ft：約1m）
R35893010（10ft：約3m）
R35893025（25ft：約7.5m）
R35893050（50ft：約15m）
FRG720/730ゲージケーブル R35913003（3ft：約1m）
R35913010（10ft：約3m）
R35913025（25ft：約7.5m）
R35913050（50ft：約15m）
CDGゲージケーブル R35903003（3ft：約1m）
R35903010（10ft：約3m）
R35903025（25ft：約7.5m）
R35903050（50ft：約15m）
AGC-100 / AGD-100 品　番
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
ゲージケーブル
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103（3m）
AGCCBL105（5m）
AGCCBL110（10m）
FRG720/730ゲージケーブル R35913003（3ft：約1m）
R35913010（10ft：約3m）
R35913025（25ft：約7.5m）
R35913050（50ft：約15m）
CDGゲージケーブル R35903003（3ft：約1m）
R35903010（10ft：約3m）
R35903025（25ft：約7.5m）
R35903050（50ft：約15m）
AGD-100 品　番
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
ゲージケーブル
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103（3m）
AGCCBL105（5m）
AGCCBL110（10m）
RGC-100 品　番
RGC-100 ラフゲージコントローラパッケージ（mbar） RGC100M（1/8" NPT）
RGC100MCF（ICF34）
RGC100MKF16（NW16）
RGC100MKF25（NW25）
RGC-100 ラフゲージコントローラパッケージ（Torr） RGC100T（1/8" NPT）
RGC100TCF（ICF34）
RGC100TKF16（NW16）
RGC100TKF25（NW25）
RGC-100 ラフゲージコントローラパッケージ（mbar），セットポイント・RS232付き RGC100MS（1/8" NPT）
RGC100MSCF（ICF34）
RGC100MSKF16（NW16）
RGC100MSKF25（NW25）
RGC-100 ラフゲージコントローラパッケージ（Torr），セットポイント・RS232付き RGC100TS（1/8" NPT）
RGC100TSCF（ICF34）
RGC100TSKF16（NW16）
RGC100TSKF25（NW25）
RGC-150 品　番
RGC-150 ラフゲージコントローラパッケージ RGC150（1/8" NPT）
RGC150CF（ICF34）
RGC150KF16（NW16）
RGC150KF25（NW25）
RGC-150 ラフゲージコントローラパッケージ，Ethernet・ソフトウェア付き RGC150E（1/8" NPT）
RGC150ECF（ICF34）
RGC150EKF16（NW16）
RGC150EKF25（NW25）
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にない真空ゲージ（真空計）およびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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