ADコートは一般的なフッ素樹脂コートの特性に加えて3つの特長を持っています。

一般的なフッ素樹脂コートの特性

• 非粘着性 : デポ物やダストの離型性に優れ、洗浄やメンテナンス作業が容易にできます。
• 耐薬品性 : 酸・アルカリ・溶剤に対して優れた耐久性を持っています。
• 耐 熱 性 : 260℃までの広い温度範囲で使用できます。

新開発“低アウトガス樹脂”

• 高純度フッ素樹脂の採用と得意な施工技術の開発により、初めて半導体製造プロセスでの利用が可能になりました。

優れた耐蝕性と耐プラズマ性

• ハロゲン系のエッチングガスやクリーニングガスに加えて高密度プラズマに対する耐久性も多くのユーザーに高く評価されています。

多様な形状の資材に対応できるコーティング技術

• 半導体装置に用いられている細管，フレキ管はもとより、多様な形状の管材にコーティングすることができます。

樹脂	耐熱温度	特長
AD-100	260℃	優れた耐熱性・耐蝕性
AD-200	150℃	巾広い用途に利用が可能
AD-300	150℃	優れた施工性

ADコートは種々の形状や素材にコーティングできます。

チャンバー	真空コンポーネント

ドライエッチング装置

問題点	コーティング箇所	効果
排気ラインが閉塞する	排気配管全般	ダストの堆積が無くなり、閉塞しなくなった。
ウエハークランプとウエハーが離れない	ウエハー接触部分	ウエハーの離型性が良くなった。
チャンバーが腐食する	チャンバーの内部部品	１年以上ダメージ無し。 パーティクトル汚染も少なくなった。

CVD装置

問題点	コーティング箇所	効果
TEOS系デポ物による排気配管の閉塞	排気配管全般	デポ物の堆積が無くなり、閉塞しなくなった。
NF3等のクリーニングガスにより配管が腐蝕する	排気配管全般	配管が腐蝕が無くなった。

除害装置

問題点	コーティング箇所	効果
エッチング用ガスでフレキ管に穴が開く	フレキ管内面	フレキ管の腐蝕が無くなった。
CVD用除塵装置の内部がデポ物で詰まる	バルブ・配管	デポ物による閉塞トラブルが無くなった。