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フッ素樹脂コーティング技術

ADコート

フッ素樹脂コーティング技術

半導体製造業プロセスに新しい世界を拓く!!

新開発フッ素樹脂コーティング技術 ADコートは、一般的なフッ素樹脂コートの特性に加えてさらに優れた特長を有し、種々の形状や素材にコーティングできます。

特長

ADコートは一般的なフッ素樹脂コートの特性に加えて3つの特長を持っています。

一般的なフッ素樹脂コートの特性

  • 非粘着性 : デポ物やダストの離型性に優れ、洗浄やメンテナンス作業が容易にできます。
  • 耐薬品性 : 酸・アルカリ・溶剤に対して優れた耐久性を持っています。
  • 耐 熱 性 : 260℃までの広い温度範囲で使用できます。

新開発“低アウトガス樹脂”

  • 高純度フッ素樹脂の採用と得意な施工技術の開発により、初めて半導体製造プロセスでの利用が可能になりました。

優れた耐蝕性と耐プラズマ性

  • ハロゲン系のエッチングガスやクリーニングガスに加えて高密度プラズマに対する耐久性も多くのユーザーに高く評価されています。

多様な形状の資材に対応できるコーティング技術

  • 半導体装置に用いられている細管,フレキ管はもとより、多様な形状の管材にコーティングすることができます。

代表的な種類

樹脂 耐熱温度 特長
AD-100 260℃ 優れた耐熱性・耐蝕性
AD-200 150℃ 巾広い用途に利用が可能
AD-300 150℃ 優れた施工性

コーティング例

ADコートは種々の形状や素材にコーティングできます。

チャンバー 真空コンポーネント
コーティング前チャンバー コーティング前真空コンポーネント
↓ ↓
ADコートチャンバー
ADコート真空コンポーネント

代表的なプロセスへのADコート事例

ドライエッチング装置

問題点 コーティング箇所 効果
排気ラインが閉塞する 排気配管全般 ダストの堆積が無くなり、閉塞しなくなった。
ウエハークランプとウエハーが離れない ウエハー接触部分 ウエハーの離型性が良くなった。
チャンバーが腐食する チャンバーの内部部品 1年以上ダメージ無し。
パーティクトル汚染も少なくなった。

CVD装置

問題点 コーティング箇所 効果
TEOS系デポ物による排気配管の閉塞 排気配管全般 デポ物の堆積が無くなり、閉塞しなくなった。
NF3等のクリーニングガスにより配管が腐蝕する 排気配管全般 配管が腐蝕が無くなった。

除害装置

問題点 コーティング箇所 効果
エッチング用ガスでフレキ管に穴が開く フレキ管内面 フレキ管の腐蝕が無くなった。
CVD用除塵装置の内部がデポ物で詰まる バルブ・配管 デポ物による閉塞トラブルが無くなった。

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年10月31日〜11月2日
【併設展示】
第47回結晶成長国内会議(JCCG-47)(於:仙台市戦災復興記念館)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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