CMP用洗浄剤 スラリークリーン
スラリークリーンはCMP装置周辺に飛散 ･ 固着したスラリーによる超微粒子皮膜を簡単に除去します。
- - スラリークリーンはお客様の次の様な問題を解消します。- -
- SMPスラリーがCMP装置及びその周辺を汚染している。
- 洗浄作業時発生するシリ力等微粒子の作業者への健康障害が間題となっている。
- 固着したスラリーの洗浄に多くのコスト（労力，時間）が掛かっている。
- 洗浄作業時発生するシリカ等微粒子が精密機器への二次汚染を起こしている。
※ 材料の一部が入手できなくなったため2021年12月末日をもちまして販売中止となりました。
