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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ポータブルヘリウムディテクタ

PHD-4

ポータブルヘリウムディテクタ

野外でも自立して使えるようバッテリーを内蔵したコンパクトなポータブルヘリウムディテクタです。

トレーザー・ガスのヘリウムをわずかに加圧するだけで、対象物のごく少量のリークも検出できます。

詳細仕様

検出可能な最低ヘリウム濃度 2ppm
検出可能な最小ヘリウムリーク量
5×10-6 atm cc/sec
5×10-6 mbar L/s
5×10-7 Pa m3/s
応答時間 <2秒
回復時間 <10秒(50ppmから0ppmまで)
起動時間(自己チェックアップを含む) 約3分
供給電源(充電式バッテリー,変換機 / 充電器を含む)
DC12V,1.2A : 充電式バッテリー
110-240V 50-60Hz : 変換機 / 充電器
バッテリー作動時間 4時間
最大信号ドリフト 10ppm/10min
保管可能温度 −20〜60℃
作動可能温度 5〜35℃
作動可能湿度 <90%RH
重量(バッテリー内蔵時) 2.6kg (5.7lbs)
適合基準 CE,CSA/US

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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