イオンポンプ
VacIon Plusシリーズ / Miniature Pump / Small Vaclon Pump
1950年代、バリアンがイオンポンプを開発して以来、イオンポンプに対する主要な技術革新のすべてを行ってきたアジレント（バリアン）のイオンポンプです。
受け継がれて来た高品質・高信頼性のイオンポンプは世界各国で高い評価を得ており、現在も、これからも、アジレント（バリアン）はワールドワイドのトップシェアブランドです。
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- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
機器構成／アクセサリー
| Miniature Pump | 品 番 |
|---|---|
| Miniature Pump | 9130038（3/8" OD 180° stainless steel tube） 9130041（3/8" OD 90° stainless steel tube） 9130049（3/8" OD 180° copper tube） 9130050（3/8" OD 90° copper tube） |
| Magnet for Miniature pump | 9130042 |
| Mini Vac Controller, KING HV connector | 9290190（120V） 9290291（220V） 9290197（24VDC） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV cable for Mini VacIon pumps | 9240122（2.4m） |
| 2L/s Pump | 品 番 |
| 2L/s Pump | 9190521（3/4" OD 180° stainless steel tube） 9190522（3/4" OD 180° copper tube, vacuum processed） 9190523（3/4" OD 180° stainless steel tube, vacuum processed） 9190524（3/4" OD 90° stainless steel tube, tee style） 9190520（ICF34 180° vacuum processed） |
| Magnet for 2L/s Pump | 91900382 |
| Mini Vac Controller, KING HV connector | 9290190（120V） 9290291（220V） 9290197（24VDC） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV bakeable cable for 2L/s pump | 9290706（4m radiation resistant with interlock） |
| 10L/s Pump | 品 番 |
| 10L/s Vaclon pump | 9195005（ICF70 vacuum processed） |
| Magnet assembly for 10L/s Vaclon pump | 9110030 |
| Mini Vac Controller, KING HV connector | 9290190（120V） 9290291（220V） 9290197（24VDC） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV cable for 10L/s VacIon pumps | 9240741（3m） |
| VacIon Plus 20 | 品 番 |
| VacIon Plus 20ポンプ | 9191115（Diode with Ferrite magnets） 9191114（Diode without magnets） 9191145（StarCell with Ferrite magnets） 9191144（StarCell without magnets） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| Mini Vac Controllerで制御する場合 | |
| Mini Vac Controller, FISCHER HV connector | 9290191（120V，1 x 21W negative） 9290290（220V，1 x 21W negative） 9290196（24VDC，1 x 21W negative） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 40 | 品 番 |
| VacIon Plus 40ポンプ | 9191210（Diode） 9191213（Diode with additional ICF70 port） 9191214（Diode without magnets） 9191240（StarCell） 9191243（StarCell with additional ICF70 port） 9191244（StarCell without magnets） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| Mini Vac Controllerで制御する場合 | |
| Mini Vac Controller, FISCHER HV connector | 9290191（120V，1 x 21W negative） 9290290（220V，1 x 21W negative） 9290196（24VDC，1 x 21W negative） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 55 | 品 番 |
| VacIon Plus 55ポンプ | 9191310（Diode） 9191313（Diode with additional ICF70 port） 9191314（Diode without magnets） 9191340（StarCell） 9191343（StarCell with additional ICF70 port） 9191344（StarCell without magnets） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| Mini Vac Controllerで制御する場合 | |
| Mini Vac Controller, FISCHER HV connector | 9290191（120V，1 x 21W negative） 9290290（220V，1 x 21W negative） 9290196（24VDC，1 x 21W negative） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 75 | 品 番 |
| VacIon Plus 75ポンプ | 9191410（Diode） 9191413（Diode with additional ICF70 port） 9191414（Diode without magnets） 9191440（StarCell） 9191443（StarCell with additional ICF70 port） 9191444（StarCell without magnets） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| Mini Vac Controllerで制御する場合 | |
| Mini Vac Controller, FISCHER HV connector | 9290191（120V，1 x 21W negative） 9290290（220V，1 x 21W negative） 9290196（24VDC，1 x 21W negative） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 150 | 品 番 |
| VacIon Plus 150ポンプ | 9191510（Diode） 9191511（Diode with heaters installed 120V） 9191512（Diode with heaters installed 220V） 9191550（Diode double-ended） 9191551（Diode double-ended with heaters installed 120V） 9191552（Diode double-ended with heaters installed 220V） 9191540（StarCell） 9191541（StarCell with heaters installed 120V） 9191542（StarCell with heaters installed 220V） 9191580（StarCell double-ended） 9191581（StarCell double-ended with heaters installed 120V） 9191582（StarCell double-ended with heaters installed 220V） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 200 | 品 番 |
| VacIon Plus 200ポンプ （Fischer feedthrough） |
X3601-64000（Diode） X3601-64002（Diode with heaters 120V） X3601-64004（Diode with heaters 220V） X3601-64001（Diode with ICF70 side port） X3601-64003（Diode with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64005（Diode with ICF70 side port with heaters 220V） X3601-64018（Noble Diode） X3601-64020（Noble Diode with heaters 120V） X3601-64022（Noble Diode with heaters 220V） X3601-64019（Noble Diode with ICF70 side port） X3601-64021（Noble Diode with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64023（Noble Diode with ICF70 side port with heaters 220V） X3601-64040（StarCell） X3601-64042（StarCell with heaters 120V） X3601-64044（StarCell with heaters 220V） X3601-64041（StarCell with ICF70 side port） X3601-64043（StarCell with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64045（StarCell with ICF70 side port with heaters 220V） |
| VacIon Plus 200ポンプ （SHV feedthrough） |
X3601-64012（Diode） X3601-64014（Diode with heaters 120V） X3601-64016（Diode with heaters 220V） X3601-64013（Diode with ICF70 side port） X3601-64015（Diode with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64017（Diode with ICF70 side port with heaters 220V） X3601-64030（Noble Diode） X3601-64032（Noble Diode with heaters 120V） X3601-64034（Noble Diode with heaters 220V） X3601-64031（Noble Diode with ICF70 side port） X3601-64033（Noble Diode with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64035（Noble Diode with ICF70 side port with heaters 220V） X3601-64052（StarCell） X3601-64054（StarCell with heaters 120V） X3601-64056（StarCell with heaters 220V） X3601-64053（StarCell with ICF70 side port） X3601-64055（StarCell with ICF70 side port with heaters 120V） X3601-64057（StarCell with ICF70 side port with heaters 220V） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock for Fischer F/T） 9290707（7m, radiation resistant with interlock for Fischer F/T） 9290708（10m, radiation resistant with interlock for Fischer F/T） 9290709（20m, radiation resistant with interlock for Fischer F/T） 9297010M023（4m, radiation resistant with interlock for SHV F/T） 9297010M025（10m, radiation resistant with interlock for SHV F/T） |
| VacIon Plus 300 | 品 番 |
| VacIon Plus 300ポンプ | 9191610（Diode） 9191611（Diode with heaters installed 120V） 9191612（Diode with heaters installed 220V） 9191650（Diode double-ended） 9191651（Diode double-ended with heaters installed 120V） 9191652（Diode double-ended with heaters installed 220V） 9191640（StarCell） 9191641（StarCell with heaters installed 120V） 9191642（StarCell with heaters installed 220V） 9191680（StarCell double-ended） 9191681（StarCell double-ended with heaters installed 120V） 9191682（StarCell double-ended with heaters installed 220V） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
| VacIon Plus 500 | 品 番 |
| VacIon Plus 500ポンプ | 9191710（Diode） 9191711（Diode with heaters installed 120V） 9191712（Diode with heaters installed 220V） 9191750（Diode double-ended） 9191751（Diode double-ended with heaters installed 120V） 9191752（Diode double-ended with heaters installed 220V） 9191740（StarCell） 9191741（StarCell with heaters installed 120V） 9191742（StarCell with heaters installed 220V） 9191780（StarCell double-ended） 9191781（StarCell double-ended with heaters installed 120V） 9191782（StarCell double-ended with heaters installed 220V） |
| 4UHV Controllerで制御する場合 | |
| 4UHV Controller （最大4台のイオンポンプを制御可能）
|
9299100（1 x 120W negative） 9299101（1 x 120W positive） 9299010（1 x 200W negative） 9299011（1 x 200W positive） 9299200（2 x 80W negative） 9299201（2 x 80W positive） 9299020（2 x 200W negative） 9299021（2 x 200W positive） 9299022（1 x 200W positive & 1 x 200W negative） 9299400（4 x 80W negative） 9299401（4 x 80W positive） 9299402（2 x 80W positive & 2 x 80W negative） 9299210（2 x 80W negative & 1 x 200W negative） 9299211（2 x 80W positive & 1 x 200W positive） 9299212（2 x 80W positive & 1 x 200W negative） 9299213（2 x 80W negative & 1 x 200W positive） |
| 電源ケーブル | 9699958（120V） |
| HV Bakeable cable | 9290705（4m, radiation resistant with interlock） 9290707（7m, radiation resistant with interlock） 9290708（10m, radiation resistant with interlock） 9290709（20m, radiation resistant with interlock） |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。