コンパクトレ―ザーMBE装置
PAC-LMBE
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易
本装置は、超高真空成膜室に置かれたターゲット材にレーザー光を照射する事により、材料をレーザーアブレーションし、対向位置に置かれた基板上に材料を堆積させ、堆積膜を作製する装置です。
成膜室および真空排気系、ターゲット自公転ユニット、赤外線ランプ基板加熱ユニット、ロードロック室ユニットにより構成されております。
本装置の特長として、赤外線ランプ基板加熱ユニットにより従来困難であった酸素雰囲気中（500mTorr以上）でも800℃以上に基板加熱でき、サンプルを大気に曝すことなく成膜室に搬送できる機構を有しています。